Wolfram- u. des MolybdänsErsatzteile für Ionenimplantations-Werkzeuge

Wolfram- u. des MolybdänsErsatzteile für Ionenimplantations-Werkzeuge

Wolfram-u. Molybdän-Ersatzteile für Ionenimplantations-Werkzeuge ist- ein Vakuumverfahren in der Halbleiterindustrie, zum von Oblaten mit Ionen zu lackieren, die die elektrischen Eigenschaften des Oblatenmaterials ändern, z.B. die Leitfähigkeit. Der Prozess wird in die folgenden Schritte geteilt: Schaffung von Ionen in einer Ionenquelle, eine Extraktion und eine Massentrennung von Ionen für die selektive Einpflanzung, ein diverion des Strahls, eine Beschleunigung und eine Fokussierung des Ionenstrahls zur Oblate. Dieser Bereich eines Ion-implanter wird Strahlnlinie genannt.

Die Hochleistungsmaterialien, die für die Teile in der Strahlnlinie benutzt werden, sind Wolfram, Molybdän, Tantal und Graphit. Darüber hinaus werden Isolatoren der hohen reinen Keramik, z.B. BN benutzt.

Fanmetal stellt Verbrauchsmaterialien der hohen Qualität und Ersatzkomponenten für das beamline in Ion Implanters von AMAT, von Varian und von Axelis zur Verfügung. Ausrüstungsverbesserungen und Änderungen von den Teilen, welche die Anforderungen der Kunden für Verbesserungen der Fertigungsprozesse übereinstimmen, sind ein zusätzlicher Service.

Diagramm des Ionen-Strahls in einem Ion-implanter.

Wolfram-u. Molybdän-Ersatzteile für Ionenimplantations-Werkzeug-Bild: